電子デバイス界面テクノロジー研究会

電子デバイス界面テクノロジー研究会 電子デバイス界面テクノロジー研究会 電子デバイス界面テクノロジー研究会
第27回 電子デバイス界面テクノロジー研究会
2022.1.28(金)〜1.29(土)
Webexによるオンライン開催(Live配信)


電子デバイスの性能向上・集積化・機能発現に向けて,その鍵を握る界面の基礎から応用までの幅広いテーマについて,実験と理論の両面から深く議論する研究会です。


応用物理学会 薄膜・表面物理分科会およびシリコンテクノロジー分科会共催の特別研究会として,1996年から2004年までは「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性研究会」,2005年から2015年までは「ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」との名称で開催され,2016年から現在の「電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―」となりました。

CALL FOR PAPERS (pdf) ダウンロード

*本研究会をご支援くださるスポンサーを募集します。詳細はこちらをご覧下さい。



更新情報

  • [EDIT27] 参加申込を開始しました.(2021.12.1)
  • [EDIT27] Late Newsの募集を開始しました.(2021.12.1)
  • [EDIT27] 一般講演の採否通知を送信しました.届いていない場合は迷惑メールに入ってないかご確認ください.(2021.11.30)
  • [EDIT27] 一般講演申込の受付を11月4日まで延長しました.(2021.10.25)
  • [EDIT27] 一般講演申込の受付を開始しました.(2021.9.27)
  • [EDIT27] EDIT27を,2022年1月28日(金)~29日(土)にオンライン開催します.(2021.9.13)
  • [EDIT26] オンライン企業展示会を公開しました.(2021.1.21)
  • [EDIT26] 【参加者限定】予稿集・講演会場へのリンクを公開しました.(2021.1.18)
  • [EDIT26] EDIT26オンライン開催マニュアルを公開しました.(2021.1.15)
  • [EDIT26] プログラムを公開しました.(2020.12.22)
  • [EDIT26] 参加申込を開始しました.(2020.11.25)
  • [EDIT26] 一般講演投稿締め切りを11/2に延長しました.(2020.10.23)
  • [EDIT26] 一般講演申込みを開始しました.(2020.10.1)


協賛

日本物理学会,日本化学会,日本金属学会,日本表面真空学会,電子情報通信学会,電気学会,触媒学会,電気化学会,表面技術協会,日本顕微鏡学会,日本セラミックス協会,精密工学会



開催助成

公益財団法人 村田学術振興財団

推奨環境